三協(xié)示教器OP5000維修

 

三協(xié)示教器OP5000維修

 

三協(xié)示教器OP5000維修

 

      半導(dǎo)體晶圓傳送設(shè)備通常由傳送帶、引導(dǎo)片和傳感器等組成，其中傳送帶可以將晶圓有效地傳送到目的地，引導(dǎo)片可以自動(dòng)檢測(cè)晶圓是否適合傳送，保證晶圓在傳送過(guò)程中能夠穩(wěn)定運(yùn)行，而傳感器則可以實(shí)時(shí)監(jiān)控物料的位置、速度和數(shù)量，確保物料的準(zhǔn)確傳送。

 

       半導(dǎo)體機(jī)械手、半導(dǎo)體機(jī)器人，硅片機(jī)器人、硅片機(jī)械手等，均指半導(dǎo)體晶圓傳輸機(jī)器人。重點(diǎn)用在半導(dǎo)體工藝設(shè)備和Foundry廠等，典型應(yīng)用如蝕刻機(jī)、光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備（PVD、CVD）、晶圓清洗設(shè)備、CMP設(shè)備、離子注入機(jī)、檢測(cè)設(shè)備（ATE、探針臺(tái)、分選機(jī)）、涂膠顯影機(jī)、晶圓片鍵合機(jī)、去膠設(shè)備和顯影設(shè)備等。